真空溅射镀膜机Load-locktypeSputteringEquipmentCS-200z
产品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自动运行，操作简单

• 成膜面积大，均匀性好

• T/S距离60～180mm可调，适用广

• 可换托盘式，基板尺寸切换简便

• 2～8inch，方片，未定型片，切换兼容

• 向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制

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